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中南大学-竞价公告(CB119422023002971)
基本信息:申购单号:CB119422023002971申购主题:GVC-2000T 高真空磁控离子溅射仪采购单位:中南大学报价要求:国产含税发票类型:增值税专用发票币种:人民币预算:付款方式:货到验收合格后付款签约时间:发布中标结果后7天内签约合同送货时间:发布竞价结果后7天内送达安装要求:免费上门安装(含材料费)收货地址:湖南省/长沙市/岳麓区/****备注说明:申购明细:序号:1采购内容:GVC-2000T高真空磁控离子溅射仪数量:1.0台预算单价:品牌:北京格微仪器型号:GVC-2000T高真空磁控离子溅射仪规格参数:外形尺寸 424(L)×345(D)×420(H)
输入电源 220V/800W
可用靶材 所有金属、部分化合物
靶材尺寸 φ57mm
真空室 高硅硼玻璃 φ200×130mm
工作介质 高纯氩气(≥4N)
低真空泵 旋片泵
抽速 1.1L/s
高真空泵 进口涡轮分子泵
抽速 90L/s
极限真空 ≤5×10-3Pa
工作真空 0.1-3Pa
溅射电流 5-200mA 可调
溅射时间 1-999s 可调
样品台 φ125mm
样品台转速 4-20rpm 可调
显示屏 7 英寸 TFT 彩色触摸屏
抽气节拍 ≤5 分钟
进气 全自动
放气 全自动
预溅射 具备预溅射挡板,全自动控制
保护功能 过流保护、真空保护、分子泵过热保护等
膜厚仪(选配)
可实时显示镀膜厚度,并通过设定来控制镀膜过程,最优测量精度 0.1nm,单次镀膜设定范围 1-999nm,最大测量范围 10μm
其它 可根据用户需要,提供定制化产品
质保及售后服务:按行业标准提供服务信息来源:https://www.easyjcx.com/#/purchase/detail/4aa3a36774ee4789afa026afe0996821